春秋為晉地。

西漢于此置下博縣，屬信都郡。

東漢屬樂成國。

西晉屬安平國；隋代今縣為下博、衡水縣地。

開皇十六年（596）始于安平縣置深州。

唐貞觀元年(627）下博縣屬深州。

不久徙州治于陸澤（今舊州村）。

宋雍熙四年（987）下博縣改名靜安縣。

同年，深州亦移治靜安（今賈城西村東）。

金元因之。

明洪武二年（1369）靜安縣省入深州。

永樂十年（1412）州城毀于洪水，遂徙治于吳家莊（即今縣城），屬真定府。

清雍正二年（1724）深州升為直隸州。

1913年深州降為深縣。

1928年屬河北省。

1937年屬河北省第九督察區(qū)。

1938年屬冀中區(qū)一專區(qū)。

1945年屬冀中區(qū)六專區(qū)。

1949年屬河北省衡水專區(qū)。

1952年改屬石家莊專區(qū)。

1960年改屬石家莊市。

1961年還屬石家莊專區(qū)。

1962年還屬衡水專區(qū)。

1967年屬衡水地區(qū)。

1994年撤銷深縣，設(shè)立深州市（縣級）。

1996年改屬衡水市至今。