民國(guó)二十六年（1937年），設(shè)石佛鎮(zhèn)。

1950年，分設(shè)石佛鎮(zhèn)（1951年改為鄉(xiāng)）、早陽(yáng)鄉(xiāng)、晚陽(yáng)鄉(xiāng)。

1952年，增設(shè)保峪鄉(xiāng)。

1954年，再增峪峰鄉(xiāng)。

1955年，5鄉(xiāng)并為石佛鄉(xiāng)和晚陽(yáng)鄉(xiāng)。

1956年，晚陽(yáng)鄉(xiāng)并入石佛鄉(xiāng)。

1958年9月，石佛鄉(xiāng)并入三陽(yáng)公社。

1961年7月，分設(shè)石佛、早陽(yáng)、晚陽(yáng)3公社。

1966年和1968年，早陽(yáng)、晚陽(yáng)（1967年改為向陽(yáng)）先后并入石佛，稱(chēng)向陽(yáng)。

1971年，復(fù)名石佛。

1983年，石佛公社改鄉(xiāng)。

2003年，原南河川鄉(xiāng)撤銷(xiāo)，馬家山、樊家灣、董家河三村歸并石佛鄉(xiāng)管轄。

2011年11月，石佛鄉(xiāng)改鎮(zhèn)。